中国首家、全球第二家12英寸功率半导体芯片制造及封测一体化IDM基地,总投资10亿美元,占地约340亩。一期月产2万片晶圆、封测5亿颗芯片;二期扩至5万片晶圆、12.5亿颗封测。项目2017年开工,2019年量产,2025年由新微集团收购并启动百亿增资。此为国网重庆北碚供电公司重点专线客户,对供电质量要求极高。
案例背景
案例痛点
1.晶圆制造大量使用高频开关电源、刻蚀机、PVD/CVD设备等非线性负载,产生5、7、11、13次谐波;
2.净化空调、真空泵、冷却塔等感性负载占比大,无功需求高,功率因数偏低;
3.晶圆制造设备对供电质量要求极高,电压波动>5%即可能影响良率;
4.3N次谐波在中性线上叠加,可能超过相线电流。
解决方案
针对此项目谐波复杂、无功波动大、电压敏感及中性线过载等痛点,采用AWSVG静止无功发生器+AWAPF有源电力滤波器综合治理方案,可快速补偿5、7、11、13次及3N次谐波,精准平抑电压波动,动态跟踪无功需求提升功率因数,同时抑制中性线过载电流,保障供电稳定与产品良率,满足高精度生产要求。
应用价值
2.避免谐波干扰及电压波动导致晶圆报废,保障月产2-5万片12英寸晶圆的连续生产与良率稳定。
3.消除力率电费罚款,降低变压器及线路损耗,延长设备寿命,降低运维成本。
4.为二期扩产至5万片晶圆提供可靠电力容量及电能质量保障,满足新微集团百亿增资后的电气系统升级需求。